俄罗斯的光刻机技术发展史

俄罗斯泽列诺格勒纳米技术中心已完成 350nm 光刻机全部研发，2024 年 5 月首台机组装完成进入测试，路线图还包括 2026 年 130nm 设备与 2030 年 90nm 目标。